温和高速,随着半导体技术的发展,压阻式压力传感器以其体积小、重量轻、灵敏度高等优点得到了广泛的应用。低功耗应用中的压阻式压力传感器通常需要较少的静态功耗,因此传感器中的电阻通常较大,电源电压较低,导致传感器的输出电压较小。因此,其输出信号需要经过模拟前端的放大和转换,才能被后续系统处理。基于0.18mCMOS工艺,设计了一种压阻式压力传感器模拟前端。首先,本文是基于一个随着智能技术和物联网的不断发展,柔性压力传感器作为可穿戴电子设备和电子皮肤的核心设备,拥有越来越广阔的市场。经过十多年的发展,柔

性压力传感器的研究已经从探索具有压敏效应的导电聚合物复合材料发展到制备高性能的柔性传感器。为了获得高性能的柔性压力传感器,研究人员在传感器材料、结构和器件设计等方面开展了一系列创新研究工作。目前,一些基于新材料和新结构的高性能、低成本材料已经开发出来随着航天技术的快速发展,飞机对测量系统的要求越来越高。作为测量系统的重要组成部分,压力数据的测量不仅仅局限于一些关键点的测量,还希望通过增加压力测量点来发现更多有用的信息,这使得传感器的应用数量大大增加,传统的压力传感器和编辑系统已经不能满足新的要求

。本文设计的高精度微型数字压力传感器及其编辑系统包括多个传感器和传感器转换器,每个传感器转换器可以同时加载多达44个传感器,控制它们同时采集压力数据随着科学技术的发展,碳化硅高温压力传感器广泛应用于航空航天领域。近年来,国内外研究者开始关注其输出特性和可靠性。但目前对SiC高温压力传感器可靠性的研究主要是在高温环境下进行的,振动环境应力对航天高温压力传感器的影响不容忽视,影响还不够明确。因此,振动环境下碳化硅高温压力传感器的性能分析和机理研究对传感器的发展具有重要意义。本文首先旨在石墨烯是一种六

方蜂窝状二维材料,具有优异的电学和力学性能。其超高的电子迁移率和大的比表面积使石墨烯广泛应用于传感器领域。石墨烯由碳单原子层组成。与其他种类的传感器相比,石墨烯存在测量范围小、易吸附周围环境中的杂质和变性、器件适用范围小、一致性差、不能长期使用等问题,是石墨烯在实际应用中亟待解决的难题之一。基于此,本文提出了一种大量程石墨烯压力传感器。氮化硅弹性膜作为传力介质,石墨烯作为传递介质基于微机电系统技术和隔离技术,设计了一种由二维磁场传感器和压阻压力传感器组成的二维磁场/压力传感器。二维磁场传感器采用

硅磁敏晶体管作为磁传感器件,分别沿X轴和Y轴形成两个差动结构的磁传感单元。第一差分结构磁传感单元是由沿Y轴放置的磁敏晶体管和负载电阻组成的差分结构,可以实现X方向磁场分量(Bx)测量;第二差分结构敏感单元是由沿X轴放置的磁敏晶体管和负载电阻组成的差分结构,可以实现Y方向磁场分量(岩土工程是以岩土为研究对象的学科。获得岩土体的结构、组成和内应力分布对研究和分析各种岩土工程问题非常重要。压力传感器作为获取岩土内应力值的技术手段,可以长时间、远距离、全方位地监测岩土内应力值,对指导岩土工程施工

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