方法采用DC溅射法制备非晶碳膜。对典型样品的内部成分、电气、机械和温度特性进行了测试和研究。采用有限元方法模拟器件设计。采用微机电系统加工技术加工非晶碳膜压力传感器芯片。最后,进行了器件级测试和分析。结果压力传感器芯片的灵敏度在0~1兆帕范围内柔性压阻压力传感器是可穿戴健康监测系统和人机交互设备的重要组成部分。在实际应用中,迫切需要高灵敏度、宽线性范围的压阻式压力传感器。以石墨烯墨水为功能层,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性材料,设计并制备了具有仿生银杏叶微结构的1.56kPa柔

性压力传感器。用扫描电镜对传感器的表面形貌进行了表征。结果表明,仿生银杏叶表面的微观结构包括平行纹理和网状纹理柔性压力传感器作为可穿戴电子设备的重要组成部分,是当今研究的热点。如何合理设计和制备压敏材料是研究的重点。采用静电纺丝技术制备了具有三维网络结构的聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜,并用聚多巴胺(PDA)对其表面进行改性,然后用聚苯胺(PANI)作为导电填料,成功制备了性能优异的柔性压敏薄膜,测量范围宽(0~)适用于高温环境的压力传感器的相关研究工作备受关注。基于采用SIMOX技术的SOI晶片,

讨论了单晶硅高温压阻压力传感器的芯片和封装结构设计。基于传感器国家工程中心原始设备制造商压力传感器的制造工艺,对传感器进行了开发和测试。结果表明,所研制的高温压力传感器在50~300温度范围内性能良好,静态灵敏度大于29mV/MPa,具有非线性。压力传感器的输出会受到温度的影响。从理论上分析了恒压电源和恒流电源下压力传感器的输出特性,并通过实验测量了不同温度下压力传感器的输出。实验结果表明,与两种供电方式的输出相比,恒流供电下压力传感器的输出更趋于稳定。但是压力传感器的输出仍然存在温度漂移。为此

,提出了一种简单的补偿电路,采用NSA2860芯片进行温度补偿。针对现有压力传感器校准系统存在的精度差、自动化程度低的问题,选择GEDPS8000高精度压力传感器作为系统参考压力传感器,设计了多功能压力室和粗调与精调相结合的压力调节模块,基于C语言编写了系统软件,构建了压力传感器高精度自动校准系统。实验表明,搭建的标定系统能够在30秒内快速达到期望的压力值,压力控制精度可达1Pa。柔性压力传感器作为一种新型的电子器件,在人机交互、医疗保健、机器人触摸等应用领域比刚性传感器更具优势,但也对材料提出

了更严格的要求。例如,它要求构成该装置的材料薄而软,并且在某些情况下可以附着在人体皮肤表面或植入体内,这进一步要求该材料具有良好的生物相容性,并且可以实现与生物组织的良好机械匹配。在设备性能方面,压力传感器灵活。提出了一种由工控机、PCI8602数据采集卡、压力变送器和待测传感器组组成的压力传感器自动检测系统。在检测过程中,利用数据采集卡驱动充放气电磁阀实现检测气道压力的自动控制,利用数据采集卡读取待检测传感器组中所有传感器的检测压力和压力变送器的标准压力。

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